CVD Automation for Heterojunction Process
현재 PECVD 기술을 이용하여 고효율 Cell인 HJT(Heterojunction) 태양 전지 생산을 위한 장비도 개발 완료되어 판매 중이다.
(HJT cell은 Wafer marking에 민감하여 High quality의 Wafer handling이 필요함)
(HJT cell은 Wafer marking에 민감하여 High quality의 Wafer handling이 필요함)
